紫外LED光刻光源系统的研究进展
王国贵
高益庆
肖孟超
罗宁宁
王彬
万军
1.南昌航空大学,江西南昌,3300632.南昌航空大学,江西南昌,3300633.南昌航空大学,江西南昌,3300634.南昌航空大学,江西南昌,3300635.南昌航空大学,江西南昌,3300636.南昌航空大学,江西南昌,330063
摘要：紫外LED光刻光源具有价格低廉、体积小、能耗低、寿命长、环保等诸多优点,因而近年来受到国内外学者的广泛关注.本文简要分析光刻光源系统的结构,归纳紫外LED光刻光源的特点,详细阐述现阶段国内外对紫外LED光刻光源系统的最新研究进展及成果,通过对系统输出光特性的综合分析与讨论全面综述了紫外LED光刻光源系统的光学设计方法,为紫外LED应用于高端微加工设备的进一步研究提供有益参考.
关键词：紫外LED光刻光源光束整形照明系统
分类号：O439+.3(光学)
资助基金：国家自然科学基金(61072131)国家自然科学基金(61261026)
论文发表日期：2013-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 53-57 )
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