小功率同轴KrCl准分子灯辐射特性研究
刘超群1
曹露泽1
朱倩文1
韩秋漪2
张善端3
1.复旦大学工程与应用技术研究院,上海 2004332.复旦大学电光源研究所,上海 2004383.复旦大学工程与应用技术研究院,上海 200433;复旦大学电光源研究所,上海 200438
摘要：本文研究了小功率正弦电源驱动的外径40 mm的准分子灯在气隙2.5～8.5 mm、气压50～600 mbar、氯含量0.1％～0.9％、频率7.9～11.8 kHz、输入功率10～150 W等5个参数范围内KrCl准分子灯的光电特性.结果表明,在输入功率48.3W时,最佳辐射效率为3.3％,对应4.5mm气隙、混合气体气压250 mbar、氯含量在0.1％.
关键词：氯化氪准分子灯介质阻挡放电222 nm辐射
分类号：TM923(电气化、电能应用)
论文发表日期：2023-04-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 6-11 )
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