管壁温度对氟化镁窗氘灯光稳定度的影响研究
王佳琦1
张绍春1
王加朋2
杜继东2
孙广尉2
韩秋漪1
张善端1
1.复旦大学电光源研究所,上海 2004382.北京振兴计量测试研究所,北京 100074
摘要：氟化镁窗氘灯能提供115～400 nm的真空紫外和紫外波段的辐射,具有辐亮度高、光谱宽、尺寸小等优势,在真空紫外标准光源、有害气体检测、半导体检测等领域有重要应用.管壁温度是影响国产氟化镁窗氘灯紫外光稳定度的重要因素.本文定量分析了工作温度对光稳定度的影响,实验证实氘灯光输出稳定度最优的工作温度范围为118 ℃～130℃.设计了一种内外双层的流体散热灯具,通过气冷和水冷两种散热方式均能实现氘灯在最佳管壁温度区间内工作,优化后氘灯的紫外辐照度稳定度＜0.37％.
关键词：氟化镁窗氘灯散热灯具设计紫外辐射光稳定度
分类号：TM923(电气化、电能应用)
论文发表日期：2024-10-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 47-53 )
英文信息