大行程无耦合二维精密微定位平台设计与分析
徐方超
陆鹤
孙凤
段振云
1.沈阳工业大学机械工程学院,辽宁沈阳,1108702.沈阳工业大学机械工程学院,辽宁沈阳,1108703.沈阳工业大学机械工程学院,辽宁沈阳,1108704.沈阳工业大学机械工程学院,辽宁沈阳,110870
摘要：为了满足当前精密重型设备对于大行程微定位平台的需求,本文提出了一种压电驱动大行程无耦合的二维精密微定位平台,该平台以压电陶瓷作为驱动元件,利用菱形位移放大机构对位移进行放大输出,同时实现了平台二维大行程、无耦合独立运动.设计了微定位平台的结构,分析了平台的工作原理;运用正交分析法研究了菱形位移放大机构位移输出的影响因素,优化了菱形位移放大机构,得出了平台优化的设计参数;通过有限元软件进行仿真分析,得到了平台的输出位移、位移放大倍数、刚度、固有频率、谐响应频率及最大位移输入时的应力.
关键词：微定位平台菱形位移放大机构压电陶瓷驱动器大行程
分类号：TH112(机械学（机械设计基础理论）)
资助基金：国家自然科学基金(51105257)国家自然科学基金(51310105025)辽宁省高等学校杰出青年学者成长计划(LQJ2014012)中国博士后科学基金(2015M571327)国家科技支撑计划(2014BAF08B01)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 56-60 )
英文信息