固结磨料研磨CVD金刚石膜的运动轨迹仿真及试验研究
罗和平1
刘永吉1
何艳2
汲军1
苑泽伟2
1.沈阳机床股份有限公司,辽宁沈阳,1101422.沈阳工业大学机械工程学院,辽宁沈阳,110870
摘要：CVD金刚石膜的应用范围日益扩大,已经从传统的刀具、模具领域扩展至高频通讯、光电、微电子等产业.本文首先通过理论分析建立抛光盘与工件之间的运动模型,然后根据建立的模型确定工件运动轨迹方程,并使用Matlab进行了抛光试验的运动仿真,得出了最优的抛光转速组合;最后采用电镀金刚石盘进行抛光试验,采用光学显微镜对金刚石膜抛光前后的表面形貌进行分析,采用Talysurf分析抛光前后的表面粗糙度.
关键词：CVD金刚石膜运动仿真电镀金刚石盘抛光
分类号：TG321(金属压力加工)
资助基金：国家科技重大专项(No.2013ZX04001-031)
论文发表日期：2017-11-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 42-45 )
英文信息