单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系
方莉俐1
陈锋2
文德振3
1.中原工学院基础部2.郑州磨料磨具磨削研究所3.郑州市环境保护监测中心站,河南,郑州,450007
摘要：分析了气相同质外延单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系,指出了控制实验条件是确保各晶面薄膜品质的关键.
关键词：同质外延金刚石薄膜晶面关系
分类号：TQ164.8(电热工业、高温制品工业)O657.71(分析化学)
资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）(715-03-01-09)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 10-11,18 )
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