金刚石薄膜基体材料的选择及预处理工艺
方莉俐
郑州大学,物理系,河南,郑州,450052;中原工学院,基础部,河南,郑州,450007
摘要：论述了CVD金刚石薄膜基体材料的性质,从基体材料与金刚石的热膨胀系数的差异、晶格失配等方面,提出了选择金刚石薄膜基体材料的方法,并对硬质合金、铜、钢、硅等材料的基体预处理工艺作了综述.指出基体材料的选择和预处理工艺是优质金刚石薄膜制备的关键.
关键词：金刚石薄膜基体材料CVD预处理工艺
分类号：O484.1(固体物理学)
论文发表日期：2004-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 42-45 )
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