微米光栅加速度计机械性能研究
张群雁
冯丽爽
周震
姚保寅
1.北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,1001912.北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,1001913.北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,1001914.北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京,100191
摘要：介绍了一种微米光栅加速度计及其原理,分析了此加速度计采用的双端固支梁结构的机械性能.利用ANSYS建立其三维实体有限元模型,对在惯性载荷作用下的双端固支梁的机械灵敏度进行了模拟,并对双端固支梁结构进行了模态分析;讨论了各参数变化对灵敏度、固有频率等主要指标的影响程度,并优化了机械结构参数,达到了优化设计的目的.
关键词：光栅加速度计双端固支梁有限元分析
分类号：TP212(自动化技术及设备)
论文发表日期：2009-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 33-35,61 )
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