一种高灵敏度的介观压阻微陀螺的设计
罗文华1
曾劲松1
温廷敦2
1.郑州大学机械工程学院,郑州,4500012.中北大学理学院,太原,030051
摘要：应用介观压阻效应,研究设计了一种含直拉直压微梁结构的微机械陀螺,并利用共振隧穿薄膜作为该微机械陀螺的敏感元件以提高陀螺的灵敏度.MATLAB软件仿真表明:当施加在GaAs/AlAss共振隧穿薄膜上的偏置电压为0.9 v,薄膜上的应变幅值不大于0.000 575时,薄膜都工作在负阻区域,此时共振隧穿薄膜能较好地检测出微梁上的应变.仿真结果还表明,在共振隧穿薄膜负阻区域的偏压为0.78 V时,压阻效应灵敏度的数量级为4.19×10-10,比室温下硅的最大压阻灵敏度高一个数量级,达到了高灵敏度微机械陀螺设计的目的.
关键词：微机械陀螺介观压阻效应共振隧穿超晶格
分类号：V241.5(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)
资助基金：国家自然科学基金(50807048)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 7-10 )
英文信息