金刚石表面刻蚀研究进展
王俊沙1
刘莹莹2
李园园1
1.中原工学院材料与化工学院,河南 郑州4500072.深圳市绎立锐光科技开发有限公司,广东 深圳518000
摘要：金刚石具有优异的机械、电、热及化学性能,广泛应用于高效加工、生物传感器、半导体及量子器件等领域,而刻蚀技术对其性能发挥起着重要作用.根据刻蚀剂种类,金刚石刻蚀分为熔盐刻蚀、气相刻蚀、金属刻蚀及金属氧化物刻蚀.熔盐刻蚀借助熔融硝酸盐中产生的高活性氧对金刚石进行选择性腐蚀.气相刻蚀利用气体或等离子体与金刚石反应从而在金刚石表面制备特殊形状的阵列.金属刻蚀分为金属反应刻蚀、金属催化刻蚀和金属催化氢气刻蚀,可用于金刚石磨粒表面微图案化和薄膜表面微纳米孔制备.金属氧化物刻蚀通过氧化物与金刚石之间的氧化还原反应对金刚石进行腐蚀.介绍了以上四大类金刚石刻蚀技术的研究进展、作用原理和应用情况.
关键词：金刚石熔盐刻蚀气相刻蚀金属刻蚀金属氧化物刻蚀
分类号：TQ163(电热工业、高温制品工业)
资助基金：国家自然科学基金(51875191)河南省科技计划项目(192102210171)河南省高等学校重点科研计划项目(19B430014)河南省高等学校重点科研计划项目(19A430029)
论文发表日期：2022-06-25
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：10( 1-10 )
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