粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件的性能
兰怀迎1
曲鲁1
刘建同2
刘文利2
李蕾2
1.济南半导体研究所,山东,济南,2500122.山东大学,数理系,山东,济南,250061
摘要：通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温△trea与气体浓度C存在关系△trea=(ACn)/(1+BCm)(其中A,B＞0,n＞m＞0),同时发现:湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大;为确保测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体,同时注意稳定测试电压,如用相对灵敏度进行测量,则可以减小湿度对测量结果(测量值)的干扰.
关键词：气敏器件氧化锡氧化铈薄膜粉末溅射反应温变
分类号：TP212.2(自动化技术及设备)
论文发表日期：2000-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 37-39 )
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