金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)--气敏薄膜厚度效应的实验规律
李宇兵
刘文利
高建华
李蕾
裘南畹
1.山东大学,数理系,山东,济南,2500612.山东大学,数理系,山东,济南,2500613.山东大学,数理系,山东,济南,2500614.山东大学,数理系,山东,济南,2500615.山东大学,数理系,山东,济南,250061
摘要：介绍了N型金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律.给出了响应时间和恢复时间随膜厚及气体浓度变化的规律;指出了气敏薄膜存在最佳灵敏度的膜厚和最佳晶粒尺寸的事实;给出了低真空退火后气敏薄膜的电导激活能随膜厚变化的实验曲线.
关键词：气敏器件薄膜厚度金属氧化物响应晶粒尺寸
分类号：TP212.2(自动化技术及设备)
论文发表日期：2000-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 40-42 )
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