WO3-SnO2薄膜的溶胶-凝胶制备及其气敏特性研究
方国家1
王汉忠2
木昌洪2
吉向东2
刘祖黎3
1.华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074;襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,4410532.襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,4410533.华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074
摘要：以无机盐SnCl2·2H2O为主体原料、H2WO4为掺杂剂、无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了nw:nsn=1:100的WO3-SnO2薄膜,并对其气敏性能进行研究.实验表明,掺杂量为1%的WO3-SnO2薄膜在常温下对H2S,NOx气体具有较好的气敏性能,对H2S气体的敏感温度为100℃,对NOx气体的最佳敏感温度为70℃.
关键词：气敏器件氧化钨氧化锌溶胶-凝胶法薄膜
分类号：TP212.2(自动化技术及设备)
资助基金：湖北省教育厅科学技术研究项目(97A085)
论文发表日期：2000-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 52-55 )
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