ZrO2掺杂SnO2厚膜的制备及其气敏性能研究
吉向东1
杨纪青2
王汉忠1
方国家3
1.襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,4410532.襄樊学院,电气信息工程系,湖北,襄樊,4410533.襄樊学院,物理系,湖北,襄樊,441053;华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074
摘要：采用化学共沉淀法成功地制备了ZrO2掺杂的SnO2超微粉,用丝绸印刷法制备了厚膜型气敏传感材料,并制成了平面型气敏元件.研究了不同掺杂量、不同烧结温度的厚膜材料的气敏性能.实验表明:掺杂降低了纯SnO2厚膜的电阻及敏感温区的温度,并且烧结温度对气敏性能影响较大.在200℃下,掺杂量为1%的ZrO2-SnO2厚膜对浓度为2×10-5的H2S气体具有较好的灵敏度(β=5.2),响应恢复时间均＜1 min.
关键词：厚膜气敏器件烧结超微粉
分类号：TP212.2(自动化技术及设备)
资助基金：湖北省教育厅科学技术研究项目(97A085)
论文发表日期：2000-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 56-58 )
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