溶胶-凝胶法制备的SnO2薄膜气敏特性研究
高胜国1
詹自力2
钟克创1
尚中锋1
彭春红1
1.河南汉威电子有限公司,河南,郑州,4500052.郑州大学,化工学院,河南,郑州,450002
摘要：以SnCl4·5H2O为原料、用Sol-gel法制备出了SnO2薄膜,并对该薄膜的气敏特性进行了测试.结果表明,SnO2薄膜低温下对乙醇气体有较高的灵敏度和较快的响应恢复时间,且长期稳定性较好.
关键词：溶胶-凝胶法SnO2薄膜酒敏元件
分类号：TP212.2(自动化技术及设备)
论文发表日期：2002-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 11-13 )
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