喷墨打印次数对SnO2气敏薄膜性能的影响
沈文锋1
赵岩1
张彩碚2
1.中国科学院,金属研究所,辽宁,沈阳,1100162.东北大学,理学院,辽宁,沈阳,110004
摘要：利用溶胶-凝胶法配制了SnO2前驱溶液墨水,采用喷墨打印技术在金叉指氧化铝基片上制备了不同打印次数的SnO2气敏薄膜元件,通过XRD,SEM对薄膜进行结构分析和形貌观察,研究了喷墨打印次数的改变对薄膜电阻及其气敏性能的影响.实验表明,增加薄膜喷墨打印次数可降低薄膜电阻,提高SnO2薄膜对乙醇、丙酮气体的灵敏度,但会降低对NOx的灵敏性.
关键词：喷墨打印二氧化锡气敏薄膜
分类号：TP212.2(自动化技术及设备)TB43(工业通用技术与设备)
资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）(2002AA325070)国家重点基础研究发展计划（973计划）(G20000672054)
论文发表日期：2004-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 7-10 )
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