三极性静电吸附阵列的结构优化及分析
过金超1
吕晨生1
李洪涛2
曹宏3
1.郑州轻工业学院 电气信息工程学院,河南 郑州,4500022.东方电子集团有限公司,山东 烟台,2640003.河南森源电气股份有限公司,河南 长葛,461500
摘要：针对现有静电吸附方式吸附力不足问题,根据静电吸附阵列电场的分布特性构建了三极性静电吸附模型;然后基于有限元分析方法,以静电吸附阵列吸附力输出最大化为目的,对影响静电吸附阵列吸附力的电极间隙、电极宽度和绝缘层厚度等参数进行了优化设计.实验结果与有限元仿真具有很好的一致性,验证了三极性结构设计的有效性.在实际设计过程中,在满足电极之间击穿特性及绝缘层表面耐磨特性的前提下,应减小电极宽度和绝缘层厚度,增加电极对数,从而增加电极阵列的总体边缘长度,从而提高静电吸附阵列的吸附力.
关键词：静电吸附三极性电极绝缘层有限元分析
分类号：TP242(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(U1304508)河南省科技攻关计划(152102210140)
论文发表日期：2017-07-02
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 66-72 )
英文信息