光栅泰伯MOEMS加速度计的误差分析与优化
杜艺鑫1
金丽1
解琨阳2
吴倩楠3
李孟委1
1.中北大学仪器与电子学院 太原 030051;中北大学前沿交叉科学研究院 太原 0300512.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051;中北大学创新创业学院 太原 0300513.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051;中北大学半导体与物理学院 太原 030051
摘要：论文提出了一种基于双层光栅泰伯效应的高性能微光机电系统(MOEMS)加速度计对准误差分析与优化方法.双层光栅的对准误差在很大程度上会影响光栅的泰伯效应,为了解决这个问题,利用光学对准结合阳极键合技术,实现了高对准精度双层光栅制备,并将光束入射角精确控制在2°以内.实验结果表明,光栅MOEMS加速度计的灵敏度为5.28 V/g,零偏稳定性达到6.69 μg,比以往的工作提高了近一个数量级.
关键词：加速度计泰伯效应误差分析微光机电系统(MOEMS)
分类号：TP212(自动化技术及设备)TH822(机械、仪表工业)
资助基金：国家自然科学基金(62005253)
论文发表日期：2025-10-20
在线出版日期：2026-01-16（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 185-190 )
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