低温压电加速度传感器温度漂移优化设计
陈穆瑶
古依聪
康彦姝
黄振宇
梁颖
中北大学电子测试技术国家重点实验室 太原 030051
摘要：低温压电加速度传感器在振动与冲击测试、故障诊断与监控等领域得到了广泛应用,这些关键部位的检测是衡量一个国家航天强国地位的重要标志之一.针对低温环境下传感器灵敏度温度漂移大的问题,论文设计了一种创新型低温压电加速度传感器.该传感器不仅在低温环境下表现出较小的温度漂移,还在高温环境下具有良好的稳定性.传感器采用4层LiNbO3压电晶体与1层PZT-5A压电晶体堆叠的压缩型结构,通过ANSYS仿真对其性能进行了优化,并验证了所提出的降低灵敏度温度漂移方法的有效性.结果表明,在-296℃～300℃的温度范围内,该传感器的灵敏度温度漂移小于±3.76%.因此,论文设计的传感器在低温环境下展示了优异的稳定性和高测量精度.
关键词：低温压电LiNbO3晶体PZT-5A晶体
分类号：TP212.1(自动化技术及设备)
资助基金：测试技术研究项目(52375553)
论文发表日期：2025-11-20
在线出版日期：2026-01-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 148-152 )
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