惯性MEMS电参数测量系统原位校准技术
许晟曦
王珩
武汉数字工程研究所 武汉 430205
摘要：为了提高惯性MEMS器件电参数测量系统的校准精度和效率,提出一种原位校准技术,并研制相应的小型化校准装置.原位校准技术是通过在惯性MEMS器件测试位置处安放自制的标准源表,实现测试点和校准点的一致性,确保整个电参数测量系统的完整回路校准.配套的小型化校准装置是基于软硬件测试平台和嵌入式计算机控制平台的设计,通过堆叠结构集成各模块,降低噪声影响,进一步缩小装置尺寸,使之能在空间受限的环境条件下完成测试.通过实验对比分析,原位校准技术能够显著提高惯性MEMS器件电参数测量系统的校准精度和效率,满足现场校准的需求,为惯性MEMS器件的高精度应用提供可靠保障.
关键词：惯性MEMS器件原位校准技术小型化校准装置电参数测量系统测量不确定度
分类号：TP212(自动化技术及设备)
论文发表日期：2025-11-20
在线出版日期：2026-01-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 179-184 )
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