驱动电压对CMUT的性能影响研究
曲光1
李云超2
张彦军1
何常德1
1.中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室 太原 0300512.中国兵器工业试验测试研究院 西安 710000
摘要：CMUT作为一种静电器件,其核心是可变电容,即在不同的电压下电容值不同,所以其输出特性与所加的电压偏置直接相关.而超声换能器发射超声波的性能对于测量深度和成像质量有着重要的影响.对CMUT的架构和工作机理进行了介绍,通过制作了CMUT器件,测试了器件在硅油中的在不同电压驱动条件下的发射和接收性能.通过静电驱动换能器,施加交流电压和直流电压,基于CMUT可能应用的复杂环境,选择硅油进行CMUT的发射性能以及参数指标的测试,包括CMUT的C-V特性、发射电压响应级以及接收电压幅值的测试.通过测试表明:CMUT在硅油里有着良好的发射和接收性能.测试了CMUT所施加DC和AC的多种组合,记录并分析了实验数据.最终得到CMUT性能在不同驱动电压下变化的规律.
关键词：电容式微机械超声换能器(CMUT)发射电压响应级发射性能接收性能C-V特性
分类号：TB552(声学工程)
论文发表日期：2025-11-20
在线出版日期：2026-01-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 185-189,210 )
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