热电堆型高温热流传感器的设计优化及测试
李晓芬
张磊
张香香
谭秋林
中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室 太原 030051;中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室 太原 030051
摘要：基于塞贝克效应和傅里叶定律,设计了两种不同结构的热电堆型高温热流传感器,分别在10×10 mm2的方形和直径10 mm的圆形氧化铝陶瓷基底上制备了传感器实物.通过丝网印刷工艺制备蛇形和环形两种热电堆结构,并采用高压喷涂的方式对应制作阶梯分布和集中分布的热阻层,对两种热流传感器进行测试对比.结果表明,圆形热流传感器的峰值电压为0.2232 mV,高于方形热流传感器0.1641 mV的峰值电压,圆形热流传感器的性能更优.在48.8 kW/m2～193.2 kW/m2的热流环境中,圆形热流传感器的输出电压达0.2256 mV,灵敏度为1.34 μV/(kW/m2),重复性误差小于2.34％,输出性能稳定,为微型、高温部件的表面热流监测难题提供了解决方案.
关键词：塞贝克效应丝网印刷高压喷涂热电堆热流传感器
分类号：TP212(自动化技术及设备)
论文发表日期：2025-12-20
在线出版日期：2026-03-23（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 231-235 )
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