数字化技术在玻璃表面检测系统中的应用
莫卫东1
高伯龙2
1.空军工程大学,工程学院,陕西,西安,7100382.国防科技大学,应用物理系,湖南,长沙,410073
摘要：通过把传统光学方法与现代数字化图像技术相结合,运用先进的数字化图像处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图像的计算,并应用自己在理论研究上的突破,从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定.利用本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了λ/100,灵敏度为λ/1000.
关键词：干涉仪数字图像处理Zernike多项式拟合平面玻璃表面
分类号：O436.1(光学)
论文发表日期：2000-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 1-4 )
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