脉冲激光沉积(PLD)技术及其应用研究
高国棉1
陈长乐2
王永仓1
陈钊2
李谭2
1.西北工业大学,理学院,陕西,西安,710072;空军工程大学,理学院,陕西,西安,7100512.西北工业大学,理学院,陕西,西安,710072
摘要：综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理、特点,着重分析了脉冲激光沉积技术的研究现状和在功能薄膜制备中的应用前景.大量研究表明,脉冲激光沉积技术是目前最好的制备薄膜方法之一.
关键词：PLD薄膜制备应用
分类号：TN249(光电子技术、激光技术)
资助基金：国家自然科学基金(50331040,60171043)陕西省自然科学基金(2001C21)教学改革项目(200242)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 77-81 )
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