ICP-MS法测定高纯二氧化锗中10种痕量杂质元素
杨桂芳
汪洋
俞义海
张汉清
朝阳金美镓业有限公司,辽宁 朝阳 122304
摘要：建立了ICP-MS(电感耦合等离子体质谱)法测定高纯二氧化锗中钙、镁、铝、铁、钴、镍、铜、锌、砷、铅等10种痕量杂质元素的分析方法.通过对样品前处理所用酸的选择和溶解样品温度及挥发温度的优化和仪器工作参数的选择,有效消除了基体干扰和多原子离子干扰.结果表明,10种元素的线性范围宽,相关系数均大于0.999,方法检出限为1～10 ng/g,加标回收率在85%～115%,相对标准偏差(RSD)小于10%.该方法操作简便、快速、准确,适用于高纯二氧化锗中痕量杂质元素的测定.
关键词：ICP-MS高纯二氧化锗基体干扰多原子离子干扰
分类号：O657.63(分析化学)
资助基金：辽宁省揭榜挂帅科技计划项目(2023JH1/10400013)
论文发表日期：2025-06-20
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 40-43,47 )
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