聚苯乙烯颗粒在晶圆表面的均匀沉积方法
张子恒1
任军1
刘悦2
刘俊杰2
1.太原理工大学省部共建煤基能源清洁高效利用国家重点实验室,化学工程与技术学院,山西太原 0300242.中国计量科学研究院环境计量中心,北京 100029
摘要：[目的]晶圆表面检测系统(scanning surface inspection system,SSIS)是半导体生产过程中质量控制的核心设备,其性能需通过晶圆标准物质(standard wafer,SW)进行校准.为了实现国内研发仪器的自主校准,迫切须要开发符合校准要求的SW,解决SSIS设备的国产化率不足的问题,更好地开展晶圆标准物质的研究和应用.[方法]开发一套发生-沉积系统,用于制备SW;该系统采用差分电迁分级器筛选所需粒径的颗粒物样品,扫描电迁移率粒径谱仪统计粒径分布;通过沉积原理分析,改良沉积室物理参数,利用数值模拟的方法对实验操作的结果进行验证,研究颗粒沉积的控制条件对均匀沉积与沉积效率的影响.[结果]在粒径为100～300 nm时,统一的沉积室物理参数能够实现相似的沉积效果,而对于粒径为40～70 nm的颗粒,须采用不同的沉积室设计;旋转使得沉积斑点面积增加26％,沉积效率降低10％;沉积均匀性会受旋转相对位置影响;相同条件下,粒径单分散性与流量-时间比负相关;热泳可以提高沉积效率但会显著影响校准的使用.[结论]使用该发生-沉积系统制备的晶圆标准物质,粒径可溯源,数量分布满足SSIS校准需求.
关键词：气溶胶颗粒晶圆沉积标准物质数值模拟
分类号：TB9(计量学)TB4(工业通用技术与设备)
论文发表日期：2025-11-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：14( 143-156 )
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