悬挂式气敏元件的热功耗和超低热功耗元件探讨
曲鲁1
兰怀迎1
刘文利2
刘建同2
刘东红2
1.济南半导体研究所,山东,济南,2500122.山东大学,数理系,山东,济南,250061
摘要：通过理论和实验相结合的方法提出了一个适用于悬挂式气敏元件的热功耗Ph/mW与工作温度T0,环境温度Tr及芯片尺寸S的关系式Ph={5.67×10-11[(T0)4-(T0)4]×0.85+0.21(T0-T0)}S(T0=aT0+bTr,a≈0.135,b≈1.0)并指出采用Si微电子薄膜技术可设计出功耗在10 mW以下的气敏元件.
关键词：气敏器件微电子技术温度热功耗
分类号：TP212.2(自动化技术及设备)
论文发表日期：2000-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 34-36 )
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